●SHS, SSR, SNR/SNS, SHW, HSR, SR, NR/NRS, HRW, NSR-TBC, HSR-M1, SR-M1, HSR-M2, SRG和SRN型的精度如 A1-95的 表16所示,可以按规格划分为普通级(无标记)、高级(H)、精密级(P)、超精密级(SP)以及超超精密级(UP)直线导轨。 表15 按精度等级规格分类的LM轨道长度和行走平行度 单位∶μm
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●SHS, SSR, SNR/SNS, SHW, HSR, SR, NR/NRS, HRW, NSR-TBC, HSR-M1, SR-M1, HSR-M2, SRG和SRN型的精度如 A1-95的 表16所示,可以按规格划分为普通级(无标记)、高级(H)、精密级(P)、超精密级(SP)以及超超精密级(UP)直线导轨。 表15 按精度等级规格分类的LM轨道长度和行走平行度 单位∶μm